★半導体製造装置部品
材質：超耐熱合金 ハステロイＣ－２２
大きさ：Φ３５０×２４㎜
大河出版の技術誌「ツールエンジニア」に紹介されました。
以下は記事の全文です。
今月の表紙
立型ＭＣ（オークマ製ＭＣ－４ＶＡ型）による半導体製造装置用ヒータの溝入れ加工。
被削材は超耐熱合金のハステロイＣ－２２。溝幅が３．１㎜（深さは３㎜）と狭いので、スクエアエンドミルでＺ軸方向に繰返し切込みを入れた後、ボールエンドミルで仕上げる。
このワーク材質は被削性が悪く、切削長が長いので、適正な切削条件の設定が不可欠である。また、切削工具には高い耐摩耗性と靭性が要求されるため、超微粒子超硬合金母材に複合コーティングを施したエンドミルを使用している。
（撮影協力：有限会社 リバティ）
